L Verheyd■n,K Klein,C Crou■

• 1: 成都仪器厂技术资料室

摘要(Abstract)：

<正> 氦泄漏检测的真实极限,是由质谱检漏仪对氦的最高灵敏度所决定的,可以认为是10~(-10)大气压毫升/秒。这种检漏仪的输出,受质谱管处所形成的真空度之影响很强。本文所提出的方法,可使漏泄测量容许范围比质谱检漏仪的真实测量极限还要延伸10~(-5)倍。方法的根据是,将发生在整个同时的漏泄之累积与背景累积相比较。本文叙述了相当复杂的操作技巧,并认为这样谈法易于使读者熟悉这门技术。

关键词(KeyWords)：

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作者(Author): L Verheyd■n,K Klein,C Crou■

参考文献(References)：

• A Roth, Vacuum Sealing Techniques. Pergamon Press, Oxford (1966) .